Увядзенне прыкладання
* Аўтаматызаваная апрацоўка матэрыялаў на краях паўправадніковых дротаў
*Падыходзіць для працэсаў са свабоднымі вытворчымі цыкламі
*Падыходзіць для індывідуальных сітуацый матэрыяльных патокаў
*Ён падыходзіць для патоку людзей на зямлі і апрацоўкі матэрыялаў без абмежаванняў
*Падыходзіць для абсталявання цэха, не выпраўлена і падтрымлівае змяненне макета
*Дастасавальна да тэсту Wafer BG WS DB WB Final TEST
* Адпаведнасць чыстым памяшканням ISO14644-14, стандартам SEMI S2 і стандартам ESD
Сістэма зарадкі
Аднаакумулятарная станцыя
Колькасць захоўвання | 1/2 бункераў + 1 зменны бункер |
Чысты клас | клас 1К |
Сістэма рэгулявання | PLC |
Сістэма дадзеных | BCMS (неабавязкова) |
Час замены батарэі | 3 хвілін |
Акумулятарная станцыя
Колькасць захоўвання | ≥5 бункераў |
Чысты клас | клас 1К |
Сістэма рэгулявання | PLC |
Сістэма дадзеных | BCMS |
Час замены батарэі | 4 хвілін |
Сістэма кіравання батарэяй
Увядзенне прыкладання
* Аўтаматызаваная апрацоўка матэрыялаў пры вытворчасці паўправаднікоў
*Ён падыходзіць для кароткіх цыклаў і некалькіх камбінаваных вытворчых сітуацый
*Ён падыходзіць для апрацоўкі кропка-кропка з вялікім аб'ёмам, вялікай вагой і нізкай дакладнасцю стыкоўкі
*Падыходзіць для духоўкі, выпальвання, кошыкаў на стэлажах, пераноскі
* Адпавядае стандартам Cleanroom ISO14644-14, стандарту SEMI S2 і стандартам ESD
прыкладанняў
Паліроўка і транспарціроўка пласцін
СМТ МГЗ пагрузка-разгрузка
ПЕЧКА загрузка і разгрузка
Перавалка электронных стэлажоў
Блок4. No.358 Jinhu Road, раён Пудун, Шанхай, Кітай