Сістэма захоўвання DUCO

Уводзіны ў праграму

Аўтаматызаванае захоўванне і кіраванне матэрыяламі ў вытворчасці паўправаднікоў

Датычыцца:

1. Высокая шчыльнасць захоўвання, высокае выкарыстанне прасторы, поўнае выкарыстанне вышыні прасторы

2. Хуткі рытм

3. Інтэграваны ў сістэму кіравання матэрыяламі цэха

4. Хуткая рэалізацыя, аўтаматычны тэст на навучанне ўзроўню

5. Сумяшчальнасць з ARV/OHT/OHS/ручнымі і іншымі аўтаматычнымі працэсамі

6. Адпавядае стандартам Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard і ESD

Функцыя ўвядзення

*Выкарыстоўваецца для анлайн-сховішча паўправаднікоў, падтрымкі FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray і іншых

* Можа стыкоўвацца з ARV, падтрымліваць ручную пагрузку і разгрузку

*Адпавядае стандартам Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 і стандартам ESD

*Стандартны інтэрфейс праграмнага забеспячэння SEMI

*Модульная канструкцыя