Сістэма захоўвання DUCO

Увядзенне прыкладання

Аўтаматызаванае захоўванне і кіраванне матэрыяламі пры вытворчасці паўправаднікоў

Прымяняецца да:

1. Захоўванне высокай шчыльнасці, высокае выкарыстанне прасторы, поўнае выкарыстанне вышыні прасторы

2.Хуткі ўдар

3.Інтэграваны ў сістэму кіравання матэрыяламі цэха

4. Хуткая рэалізацыя, аўтаматычны тэст навучання ўзроўню

5.Сумяшчальны з ARV/OHT/OHS/ручным і іншымі аўтаматычнымі працэсамі

6. Адпавядае стандартам чыстых памяшканняў ISO14644-14, стандарту SEMI S2 і стандартам ESD

Функцыя ўвядзення

* Ён выкарыстоўваецца для онлайн-захоўвання паўправаднікоў, падтрымлівае FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray і іншыя

* Можа стыкавацца з ARV, падтрымлівае ручную загрузку і разгрузку

* Адпавядае стандартам Cleanroom ISO14644-14, стандарту SEMI S2 і стандартам ESD

*Стандартны праграмны інтэрфейс SEMI

* Модульная канструкцыя